Độ ẩm của phòng sạch được quy định như thế nào

Bạn đang làm việc trong phòng sạch được kiểm soát chặt chẽ. Việc duy trì một phòng sạch an toàn và hiệu quả là vô cùng cần thiết cho hoạt động động sản xuất thậm trí là sức khỏe của bạn.
Trong phòng sạch, bộ lọc không khí HEPA đạt tiêu chuẩn, có mũ trùm luồng khí và thậm chí đảm bảo rằng quần áo và dụng cụ vệ sinh của công nhân không làm ô nhiễm môi trường đều có thể giúp duy trì nhiệt độ và độ ẩm của phòng sạch.

Nhưng hướng dẫn và quy định phòng sạch liên quan đến mức nhiệt độ và độ ẩm ở phòng sạch là gì? Hơn nữa, tại sao chúng rất quan trọng trong môi trường phòng sạch? Hãy tiếp tục cùng INTECH đọc bài viết này để tìm hiểu độ ẩm phòng sạch được quy định như thế nào nhé.

1. Độ ẩm của phòng sạch được quy định như nào

Độ ẩm của phòng sạch được quy định như nào
Độ ẩm của phòng sạch được quy định như nào

1.1. Độ ẩm của phòng sạch là gì ?

Phòng sạch tiêu chuẩn quy định rõ ràng mức độ ẩm tương đối (rh) trong phòng sạch nên duy trì trong khoảng từ 30 đến 40%. Thông thường, nhiệt độ dưới 21 độ C (70 độ F) có dải tần số +/- 2%.
Mặc dù phòng sạch đượckiểm soát, bạn vẫn cần phải cẩn thận hơn để đảm bảo rằng độ ẩm trong phòng sạch không dao động.

1.2. Nguy cơ độ ẩm phòng sạch không được kiểm soát

Độ ẩm cao có thể gây ra một loạt các vấn đề phòng sạch, chẳng hạn như sự phát triển của vi khuẩn, hư hỏng sản phẩm, máy móc, ăn mòn và tĩnh điện. Tĩnh điện can thiệp trực tiếp vào sự di chuyển của các hạt bên trong phòng sạch, có thể gây ra vấn đề sản xuất nghiêm trọng.
Độ ẩm cao có thể làm cho dung môi bay hơi và nước để làm mát ngưng tụ độ ẩm. Do đó, quá trình kiểm soát và chất lượng không được kiểm soát
Thêm vào đó, độ ẩm dao động liên tục khiến nhân viên phòng sạch khó chịu.
Những vấn đề này có thể dẫn đến những sai lầm như tốn kém, sản phẩm chất lượng thấp và thậm chí có thể gây ra sự chậm trễ nghiêm trọng trong sản xuất.

2. Tiêu chuẩn về độ ẩm, nhiệt độ của phòng sạch

Tiêu chuẩn về độ ẩm nhiệt độ của phòng sạch
Tiêu chuẩn về độ ẩm nhiệt độ của phòng sạch

2.1. Độ ẩm, nhiệt độ trong phòng sạch

Bây giờ bạn đã hiểu rõ hơn về các hướng dẫn phòng sạch liên quan đến độ ẩm của phòng sạch được quy định như nào, hãy xem các tiêu chuẩn về nhiệt độ phòng sạch.
Nhìn chung, nhiệt độ của phòng sạch nên là 21 độ C, hoặc 69,8 độ F. Thông thường, dao động 2 độ C là cho phép.
Giống như mức độ ẩm, điều quan trọng là duy trì nhiệt độ tiêu chuẩn trong phòng sạch để giữ cho công nhân làm việc thoải mái. Lý do tại sao vấn đề thoải mái của người lao động lại cần chú trọng

2.2. Tại sao phải kiểm soát độ ẩm trong phòng sạch?

Khi nhân viên vệ sinh phòng sạch hoặc kỹ thuật viên làm việc , họ sẽ giải phóng một lượng hạt bụi cao hơn vào phòng sạch của bạn. Điều này, có khả năng gây ô nhiễm môi trường và ảnh hưởng đến các tiêu chuẩn sản xuất.

Độ ẩm tương đối là một trong những điều kiện môi trường thường được chỉ định cho các hoạt động phòng sạch. Độ ẩm tương đối trong phòng sạch bán dẫn thường được kiểm soát theo giá trị mục tiêu ở đâu đó trong phạm vi 30 đến 50 phần trăm và với dung sai hẹp tới 1% đối với một số khu vực thậm chí ít hơn để xử lý tia cực tím sâu (DUV) giữ không khí trang điểm trong các thông số kỹ thuật này trong suốt cả năm đòi hỏi vốn và chi phí hoạt động. Nhưng tại sao kiểm soát độ ẩm tương đối trong phòng sạch lại đảm bảo chi phí như vậy?
Rất đơn giản, vì độ ẩm tương đối ảnh hưởng đến một số yếu tố có thể làm giảm hiệu suất phòng sạch nói chung, bao gồm:

+ Vi khuẩn phát triển;
+ Tích tụ điện tĩnh;
+ Ăn mòn kim loại;
+ Ngưng tụ độ ẩm;
+ Suy thoái quang khắc;
+ Hấp thụ nước.

Vi khuẩn và các chất gây ô nhiễm sinh học khác (nấm mốc, vi rút, nấm, ve) phát triển mạnh ở độ ẩm tương đối trên 60 phần trăm. Một số quần thể vi khuẩn cũng tăng khi độ ẩm tương đối lớn hơn 30 phần trăm. Phạm vi 40 đến 60 phần trăm trong độ ẩm tương đối giảm thiểu tác động của vi khuẩn và nhiễm trùng đường hô hấp
Độ ẩm cao hơn trở nên ngột ngạt; độ ẩm thấp hơn 30 phần trăm dẫn đến khô, nứt da, khó chịu đường hô hấp..

Độ ẩm cao thực sự giảm thiểu sự tích tụ điện tích tĩnh trên bề mặt phòng sạch. Hiệu quả rất đáng mong đợi. Đó là độ ẩm thấp có lợi cho sự tích tụ điện và sự phóng điện tĩnh có khả năng gây tổn hại. Điện tích tĩnh bắt đầu tiêu tan nhanh chóng khi độ ẩm tương đối vượt quá 50 phần trăm, nhưng vẫn tồn tại trong thời gian dài trên các bề mặt không dẫn điện hoặc không có nền tảng khi dưới 30 phần trăm.
Mặc dù độ ẩm tương đối từ 35 đến 40 phần trăm có thể là một điều chấp nhận được, nhưng phòng sạch bán dẫn thường kết hợp các tính năng điều khiển bổ sung để hạn chế tích tụ điện tĩnh.

Tốc độ của nhiều phản ứng hóa học, bao gồm cả quá trình ăn mòn, tăng lên khi tăng độ ẩm tương đối. Tất cả các bề mặt tiếp xúc với không khí phòng sạch xung quanh nhanh chóng được bao phủ bởi ít nhất một lớp nước. Khi các bề mặt này là màng kim loại mỏng có thành phần phản ứng với nước, độ ẩm cao sẽ phản ứng. May mắn thay, một số kim loại, chẳng hạn như nhôm, tạo thành một oxit bảo vệ với nước ngăn chặn phản ứng oxy hóa hơn nữa; mặt khác, oxit đồng không bảo vệ được, vì vậy bề mặt đồng dễ bị ảnh hưởng bởi độ ẩm cao.

Tiêu chuẩn độ ẩm phòng sạch
Tiêu chuẩn độ ẩm phòng sạch

Ở độ ẩm tương đối cao, lực mao dẫn được tạo ra bởi nước ngưng tụ tạo thành cầu nối liên kết giữa hạt và bề mặt, và có thể làm tăng độ bám dính của hạt với bề mặt silicon. Hiệu ứng này sự ngưng tụ không quan trọng ở độ ẩm tương đối dưới 50% nhưng có thể tạo thành lực chi phối của độ bám dính hạt ở độ ẩm tương đối thấp tới 70%.

Cho đến nay, nhu cầu cấp thiết nhất về kiểm soát độ ẩm trong phòng sạch bán dẫn xuất phát từ sự nhạy cảm của chất phát quang. Đó là nhà quang học đòi hỏi các giới hạn kiểm soát chặt chẽ nhất (đắt nhất) vì tính chất của nó rất nhạy cảm với độ ẩm tương đối.

Trên thực tế, cả độ ẩm và nhiệt độ tương đối đều quan trọng để chống lại sự ổn định và kiểm soát kích thước chính xác. Ngay cả ở nhiệt độ không đổi, độ nhớt của chất phát quang giảm nhanh khi độ ẩm tương đối tăng. Thay đổi độ nhớt, tất nhiên, thay đổi độ dày của màng chống quay bằng công thức phủ cố định. Tài liệu tham khảo 2 trích dẫn một minh chứng thử nghiệm trong đó sự thay đổi ba phần trăm về độ ẩm tương đối tạo ra sự thay đổi độ dày 59,2 A (sic) về độ dày điện trở.
Ngoài ra, chống sưng sau một chu kỳ nướng có thể bị nặng thêm do sự hấp thụ nước ở độ ẩm tương đối cao. Chống bám dính cũng có thể bị ảnh hưởng xấu bởi độ ẩm tương đối cao; độ ẩm thấp (~ 30 phần trăm) tạo điều kiện chống lại sự bám dính ngay cả khi không có chất biến tính polyme, chẳng hạn như hexamethyldisilazane (HMDS).
Kiểm soát độ ẩm tương đối trong phòng sạch bán dẫn không phải là tùy chọn. Nhưng, theo thời gian, thật tốt để xem xét lý do và cơ sở cho các thực tiễn phổ biến, được chấp nhận rộng rãi.

Trên đây là bài viết giải thích độ ẩm phòng sạch được quy định như thế nào. INTECH hi vọng sẽ giúp các bạn hiểu sâu hơn về độ ẩm phòng sạch
Liên hệ ngay với INTECH để được tư vấn miễn phí vầ xây dựng phòng sạch và các tiêu chuẩn phòng sạch.

 

 

 

 

 

 

 

 

Contact Me on Zalo